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荷兰光刻机最高精度?有没有人知道呢?

作者:机械网
文章来源:本站

  目前世界上最先进的光刻机是荷兰ASML生产的EUV光刻机,其精度可以•达到5nm的级别,它所•需的◁零件超过10万个,以EUV所用的镜•头▽(p4eX34)为例,全部由世界顶级镜片制造商蔡司提供,他们生产的各种镜头、反光镜和其他光学部件,没有任何一家公司能模仿的来。

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