EDS，英文全称是Energy Dispersive Spectroscopy，是一种能谱仪。

　　原理：利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析。

　　与WDS（波谱仪）相比，EDS（能谱仪）具有以下优缺点： 优点:

　　（1）能谱仪探测X射线的效率高。

　　（2）在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数，在几分钟内可得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。

　　（3）结构简单，稳定性和重现性都很好。

　　（4）不必聚焦，对样品表面无特殊要求，适于粗糙表面分析。