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mems芯片和砷化镓哪个好?砷化镓器件比硅器件的优点

砷化镓是继硅之后被研究最深入、应用最广泛的半导体材料,由于禁带宽度宽、电子迁移率高,因而不仅可直接研制光电子器件,如发光二极管、可见光激光器、近红外激光器、量子阱大功率激光器,红外探测器和高效太阳能电池等,而且在微电子方面,以半绝缘砷化镓为基体,用直接离子注入自对准平面工艺研制的砷化镓高速数字电路、微波单片电路、光电集成电路、低噪声及大功率场效应晶体管,具有速度快、频率高、低功耗和抗辐射等特点,不仅在国防上具有重要意义,在民用和国民经济建设中更有广泛应用......

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