单晶硅污染谁知道,能详细说说吗?单晶硅厂对周围的污染
单晶硅项目的环境影响主要有以下几方面:
废气:主要为正常生产时废气处理工序尾气、产品后处理和硅芯制备工序酸性废气等,主要废气污染物为HCl、NOx、氯硅烷、HF等。
废水:主要为正常生产时产品后处理和硅芯制备工序水洗废水
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单晶硅项目的环境影响主要有以下几方面:
废气:主要为正常生产时废气处理工序尾气、产品后处理和硅芯制备工序酸性废气等,主要废气污染物为HCl、NOx、氯硅烷、HF等。
废水:主要为正常生产时产品后处理和硅芯制备工序水洗废水