单晶硅生产主要污染环节包括废气、废水、固废和噪声污染。

　　废气主要为正常生产时产生的尾气、产品后处理和硅芯制备工序的酸性废气等；废水主要是产品后处理和硅芯制备工序产生的水洗废水、冲洗水、循环水等；

　　固废主要是原料制备和SiHCl3合成工序、酸洗废液处理工序产生的污染物；噪声为机泵、压缩机和放空管产生的噪声污染。