常用的晶体硅太阳能电池封装的主要步骤有哪些?晶体硅太阳能电池组件的生产工艺流程
1.去除损伤层、表面绒面化;
2.三氯氧磷气体携带源方式的发射区扩散;
3.边缘刻蚀;
4.去磷硅玻璃(PSG)
; 5.PECVD沉积SiN; 6.丝网印刷正背面电极背电场浆料; 7.共烧形成欧姆接触; 8.电池片测试分档.
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1.去除损伤层、表面绒面化;
2.三氯氧磷气体携带源方式的发射区扩散;
3.边缘刻蚀;
4.去磷硅玻璃(PSG)
; 5.PECVD沉积SiN; 6.丝网印刷正背面电极背电场浆料; 7.共烧形成欧姆接触; 8.电池片测试分档.